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成长论坛118讲:基于微纳伺服技术的纳米定位与扫描系统设计及应用
    来源:      发布时间:[2022-08-30]     点击次数:      字体大小[ ]

一、时 间:2022年9月1日(周四)10:00

二、地 点:工程中心A101

三、主讲人:闫鹏

四、主 办:科研处

五、承 办:工程机械学院

六、讲座简介:

超精密微纳伺服系统是微纳制造及电子信息装备等高端制造领域的关键环节,对我国半导体产业、高端精密仪器以及宇航工程等战略工业意义巨大。报告将介绍团队近期在高动态高精度纳米测控及伺服技术面的研究进展,并重点介绍相关技术在卫星遥感探测系统和国家光源工程纳米探针线站等领域中的应用实例。

七、主讲人简介:

闫鹏,美国俄亥俄州立大学电气与计算机工程系博士。现任山东大学机械工程学院教授,博士生导师,机械电子学科带头人,机电研究所所长,山东大学“智能制造技术与装备研究中心”主任。2012年入选国家青年特聘专家,2019年入选科技部创新人才推进计划科技领军人才,2020年入选国家万人计划科技领军人才。兼任国家标准委员会SAC/TC240 委员,IEEE/ASME Transactions on Mechatronics、Mechanical Sciences等国际期刊编委,中国工程院院刊《Engineering》青年通讯专家,广东省微纳加工技术与装备重点实验室学术委员会委员等。主要研究领域为:纳米定位与纳米扫描、纳米运动控制技术及纳米精密装备,超精密机电系统设计与控制。近年来主持国家自然基金仪器专项,科技部重大科学仪器开发专项课题,山东省自然基金重大基础研究计划等重点/重大类课题等科研项目。

编辑:栗波  /  审核:黄玉娟